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實際導入案例
Case Studies
綠色製程 · 2025
半導體晶圓廠
晶圓清洗導入機能水
以機能水取代 SC-1 / SC-2,在維持既有製程品質的前提下大幅降低高濃度化學品用量。
90%
化學品減量
綠色製程 · 2025
大型面板廠
光阻剝離製程優化
導入機能水輔助剝離,減少 NMP / DMSO 有機溶劑用量與後續廢液處理負荷。
65%
溶劑減量
綠色製程 · 2024
先進封裝廠
常溫製程轉換
將需加熱的清洗槽轉為常溫製程,同步降低化學品消耗與製程能耗。
42%
製程能耗節省
廢棄物再生 · 2025
記憶體製造廠
廢硫酸再生系統
廠內再生取代委外清運,再生硫酸品質維持 ppm 等級並直接回到製程使用。
3.2 年
投資回收期
廢棄物再生 · 2024
IC 載板廠
含氟廢水回收
以結晶回收製程將氟化物轉為可再利用副產品,同步降低污泥產出與處置成本。
90%
氟回收率
廢棄物再生 · 2024
半導體大廠
有機溶劑回收再生
IPA / PGMEA 回收再生後回廠自用,降低新料採購與廢液清運雙向成本。
78%
溶劑回收率
能源化 · 2025
半導體大廠
廢溶劑熱裂解
高溫無氧裂解轉化為可燃氣與再製原料,產氣導入廠內能源系統形成自用循環。
62%
產氣氫氣比例
能源化 · 2024
電子製造服務廠
廢塑膠能源化
將廠內廢塑膠轉化為輕質石腦油與燃氣,取代焚化處置並創造能源價值。
71%
石腦油產率
能源化 · 2023
面板廠
BOT 長期營運
15 年 BOT 合約,由銳源負責系統建置、維運與績效追蹤,客戶不需自建處理團隊。
15 年
營運合約期